一种取放晶圆盒的装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420320922.X

申请日：

2024-02-21

公开(公告)号：

CN222514901U

公开(公告)日：

2025-02-21

发明(设计)人：

赵丽云王博秦刚

申请人：

合肥晶合集成电路股份有限公司

申请人地址：

230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号

IPC主分类号：

H01L21/68

IPC分类号：

H01L21/677

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

曹廷廷

法律状态：

授权

国省代码：

天津市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-21	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆取放装置 [P].

姚玉鹏 .

中国专利 :CN212182270U ,2020-12-18

[2]

一种便于取放晶圆片的晶圆盒 [P].

刘春峰 .

中国专利 :CN220358058U ,2024-01-16

[3]

一种便于取放晶圆片的晶圆盒 [P].

张涛 ;

马旭 ;

胡炳辉 ;

罗小军 ;

韩晓旭 .

中国专利 :CN221508123U ,2024-08-09

[4]

一种便于取放晶圆片的晶圆盒 [P].

黄诗妤 .

中国专利 :CN218086731U ,2022-12-20

[5]

一种便于取放的晶圆片的晶圆盒 [P].

刘春峰 ;

刘国华 ;

洪巧水 .

中国专利 :CN221861603U ,2024-10-18

[6]

晶圆取放装置 [P].

卫金荣 ;

倪尧 .

中国专利 :CN205666229U ,2016-10-26

[7]

晶圆取放装置 [P].

李龙 ;

张帅 .

中国专利 :CN214625010U ,2021-11-05

[8]

晶圆取放装置 [P].

华宇 ;

赵兴 ;

祝家伟 .

中国专利 :CN214279933U ,2021-09-24

[9]

一种晶圆取放装置 [P].

董和平 ;

焦点 ;

郑自菲 .

中国专利 :CN220984503U ,2024-05-17

[10]

一种便于晶圆取放的装置 [P].

李秀丽 ;

邹宇 ;

张平 .

中国专利 :CN212257365U ,2020-12-29

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