晶圆取放装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120892306.8

申请日：

2021-04-25

公开(公告)号：

CN214625010U

公开(公告)日：

2021-11-05

发明(设计)人：

李龙张帅

申请人：

申请人地址：

361012 福建省厦门市海沧区兰英路99号

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

刘畅

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-05	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆取放装置 [P].

姚玉鹏 .

中国专利 :CN212182270U ,2020-12-18

[2]

晶圆取放装置 [P].

卫金荣 ;

倪尧 .

中国专利 :CN205666229U ,2016-10-26

[3]

晶圆取放装置 [P].

华宇 ;

赵兴 ;

祝家伟 .

中国专利 :CN214279933U ,2021-09-24

[4]

晶圆取放结构 [P].

李建文 ;

林风元 .

中国专利 :CN201174380Y ,2008-12-31

[5]

晶圆放置装置及晶圆取放设备 [P].

潘磊 .

中国专利 :CN210837688U ,2020-06-23

[6]

取放晶圆片的叉手装置 [P].

林海涛 ;

赵凯 ;

梁猛 ;

姚玉鹏 ;

林建波 .

中国专利 :CN216450621U ,2022-05-06

[7]

晶圆花篮的取放片装置 [P].

王鹤龙 ;

陆嘉鑫 ;

王国杰 .

中国专利 :CN209461434U ,2019-10-01

[8]

一种晶圆取放装置 [P].

董和平 ;

焦点 ;

郑自菲 .

中国专利 :CN220984503U ,2024-05-17

[9]

一种晶圆托盘取放装置及晶圆转运装置 [P].

王荣辉 .

中国专利 :CN223598705U ,2025-11-25

[10]

一种恒温晶圆取放装置 [P].

郭玉峰 ;

段良飞 ;

何军强 ;

刘剑荣 ;

董国庆 ;

朱帅 .

中国专利 :CN216928534U ,2022-07-08

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