一种恒温晶圆取放装置

被引：0

申请号：

CN202220576849.3

申请日：

2022-03-16

公开(公告)号：

CN216928534U

公开(公告)日：

2022-07-08

发明(设计)人：

郭玉峰段良飞何军强刘剑荣董国庆朱帅

申请人：

申请人地址：

330000 江西省南昌市南昌高新技术产业开发区天祥北大道1717号

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

南昌旭瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 36150

代理人：

彭琰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-08	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆取放装置 [P].

冯传彰 .

中国专利 :CN114765117A ,2022-07-19

[2]

晶圆取放装置 [P].

冯传彰 .

中国专利 :CN114765117B ,2025-03-11

[3]

晶圆取放装置 [P].

姚玉鹏 .

中国专利 :CN212182270U ,2020-12-18

[4]

晶圆取放装置 [P].

卫金荣 ;

倪尧 .

中国专利 :CN205666229U ,2016-10-26

[5]

晶圆取放装置 [P].

李龙 ;

张帅 .

中国专利 :CN214625010U ,2021-11-05

[6]

晶圆取放装置 [P].

华宇 ;

赵兴 ;

祝家伟 .

中国专利 :CN214279933U ,2021-09-24

[7]

一种晶圆取放装置 [P].

董和平 ;

焦点 ;

郑自菲 .

中国专利 :CN220984503U ,2024-05-17

[8]

一种晶圆托盘取放装置及晶圆转运装置 [P].

王荣辉 .

中国专利 :CN223598705U ,2025-11-25

[9]

晶圆取放结构 [P].

李建文 ;

林风元 .

中国专利 :CN201174380Y ,2008-12-31

[10]

一种晶圆取放机构 [P].

夏俭波 ;

李青桦 ;

陈志刚 ;

徐鹏飞 .

中国专利 :CN216054630U ,2022-03-15

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