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一种晶圆托盘取放装置及晶圆转运装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202422723771.5
申请日：
2024-11-08
公开(公告)号：
CN223598705U
公开(公告)日：
2025-11-25
发明(设计)人：
王荣辉
申请人：
瀚积智能科技（上海）有限公司
申请人地址：
200000 上海市奉贤区柘林镇新林路1100号11幢
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/683
H01L21/677
代理机构：
深圳市国科知识产权代理事务所(普通合伙) 44296
代理人：
陈永辉
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-11-25 | 授权 | 授权 |