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晶圆取放装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110036758.0
申请日：
2021-01-12
公开(公告)号：
CN114765117B
公开(公告)日：
2025-03-11
发明(设计)人：
冯传彰
申请人：
辛耘企业股份有限公司
申请人地址：
中国台湾台北市
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/683
H01L21/687
代理机构：
北京泰吉知识产权代理有限公司 11355
代理人：
史瞳;秦小耕
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-03-11 | 授权 | 授权 |