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一种便于晶圆取放的装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021541060.1
申请日：
2020-07-29
公开(公告)号：
CN212257365U
公开(公告)日：
2020-12-29
发明(设计)人：
李秀丽
邹宇
张平
申请人：
申请人地址：
221000 江苏省徐州市经济技术开发区创业路26号
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
张东梅
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-12-29 | 授权 | 授权 |