一种用于电子气二氟甲烷中杂质检测的分析装置及方法

被引：0

申请号：

CN202210345816.2

申请日：

2022-04-02

公开(公告)号：

CN114563521A

公开(公告)日：

2022-05-31

发明(设计)人：

王法迎黄小强杨康

申请人：

申请人地址：

201114 上海市闵行区立跃路2995号3幢102室

IPC主分类号：

G01N3088

IPC分类号：

代理机构：

上海创开专利代理事务所(普通合伙) 31374

代理人：

李兰兰

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-31	公开	公开
2022-06-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 30/88 申请日:20220402

共 50 条

[1]

一种用于电子气二氟甲烷中杂质检测的分析装置 [P].

王法迎 ;

黄小强 ;

杨康 .

中国专利 :CN217180751U ,2022-08-12

[2]

一种用于高纯二氯氢硅中痕量杂质检测的分析装置 [P].

倪珊珊 ;

陈润泽 ;

李欣 ;

李帅楠 ;

井栋宇 ;

吕舜 ;

解晓虎 ;

吕浩然 .

中国专利 :CN220795140U ,2024-04-16

[3]

一种用于电子气体一氟甲烷中的杂质组分分析系统 [P].

李朝清 ;

王祥科 ;

李建浩 .

中国专利 :CN112697904B ,2021-04-23

[4]

一种用于电子气体三氟甲烷中的杂质组分分析系统 [P].

李朝清 ;

王祥科 ;

李建浩 .

中国专利 :CN112268971A ,2021-01-26

[5]

一种在线检测超纯氧中杂质的分析装置及其分析方法 [P].

杨康 ;

王法迎 ;

唐中伟 ;

黄小强 .

中国专利 :CN114563522A ,2022-05-31

[6]

一种在线检测超纯氧中杂质的分析装置 [P].

杨康 ;

王法迎 ;

唐中伟 ;

黄小强 .

中国专利 :CN217084839U ,2022-07-29

[7]

一种用于高纯氟气中杂质的分析装置 [P].

李帅楠 ;

郑秋艳 ;

倪珊珊 ;

殷越玲 ;

苏子杰 ;

魏晓娟 ;

滕莹 ;

袁攀攀 .

中国专利 :CN216285088U ,2022-04-12

[8]

一种三氟碘甲烷中杂质的分析装置 [P].

刘少杰 ;

杨康 ;

黄小强 ;

何波 .

中国专利 :CN217060100U ,2022-07-26

[9]

一种三氟碘甲烷中杂质的分析装置及其分析方法 [P].

刘少杰 ;

杨康 ;

黄小强 ;

何波 .

中国专利 :CN114660221A ,2022-06-24

[10]

一种甲烷中烃类杂质分析方法 [P].

刘艳 ;

孙子文 .

中国专利 :CN117761201A ,2024-03-26

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