一种半导体蚀刻用石英环加工装置

被引:0
申请号
CN202222239591.0
申请日
2022-08-25
公开(公告)号
CN218196092U
公开(公告)日
2023-01-03
发明(设计)人
陈富伦 刘明伟 徐传达 陈虎
申请人
申请人地址
222000 江苏省连云港市东海县牛山街道晶都大道东路1067号
IPC主分类号
B28D122
IPC分类号
B28D700 B28D702
代理机构
连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330
代理人
胡荣
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种半导体石英环加工装置 [P]. 
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赵林花 .
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[2]
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[3]
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[4]
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[5]
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[9]
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[10]
一种半导体加工装置 [P]. 
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