基于厚胶光刻的三维微结构加工方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410018286.2

申请日：

2004-05-13

公开(公告)号：

CN1570768A

公开(公告)日：

2005-01-26

发明(设计)人：

刘景全李凌瀚

申请人：

申请人地址：

200240上海市闵行区东川路800号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海交达专利事务所

代理人：

王锡麟;王桂忠

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-08-30	授权	授权
2005-01-26	公开	公开
2005-03-23	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-07-28	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101004179002 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2004100182862 申请日:20040513 授权公告日:20060830

共 50 条

[1]

基于SU-8厚光刻胶的三维圆滑曲面微结构的制作方法 [P].

李刚 ;

陈强 ;

沈念 ;

赵建龙 .

中国专利 :CN101950126B ,2011-01-19

[2]

三维微结构以及制造三维微结构的方法 [P].

G·L·马修 ;

T·方 ;

E·D·霍博斯 .

中国专利 :CN101336466A ,2008-12-31

[3]

一种三维微结构加工方法及三维微结构 [P].

雷建国 ;

伍晓宇 ;

伍博 ;

徐斌 ;

周志文 ;

程蓉 ;

钟金明 ;

朱立宽 ;

赵航 .

中国专利 :CN111037015A ,2020-04-21

[4]

厚胶光刻方法及微结构器件 [P].

王晨星 ;

杨云春 ;

陆原 ;

张拴 .

中国专利 :CN114995062B ,2025-11-18

[5]

厚胶光刻方法及微结构器件 [P].

王晨星 ;

杨云春 ;

陆原 ;

张拴 .

中国专利 :CN114995062A ,2022-09-02

[6]

一种三维微结构的加工方法 [P].

徐斌 ;

伍晓宇 ;

雷建国 ;

赵航 ;

梁雄 ;

龚峰 ;

马将 ;

汤勇 ;

梁祖强 .

中国专利 :CN109300193A ,2019-02-01

[7]

一种基于双向三维特征叠加的三维微结构加工方法 [P].

徐斌 ;

伍晓宇 ;

梁雄 ;

雷建国 ;

阮双琛 .

中国专利 :CN105537709B ,2016-05-04

[8]

玻璃三维微结构制备方法和玻璃三维微结构制备装置 [P].

徐少林 ;

姚丽 ;

徐康 ;

黄凌羽 ;

黄沛霖 ;

李宗尧 ;

仲帅 ;

于洪宇 .

中国专利 :CN117983968A ,2024-05-07

[9]

一种任意三维微结构的加工方法 [P].

陈云 ;

李力一 ;

麦锡全 ;

陈新 ;

刘强 ;

汪正平 .

中国专利 :CN106672896B ,2017-05-17

[10]

三维微结构、具有至少两个三维微结构的装置、用于制造所述微结构的方法和所述微结构的应用 [P].

H.赫德勒 ;

J.扎普夫 .

中国专利 :CN102510834B ,2012-06-20

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