厚胶光刻方法及微结构器件

被引：0

申请号：

CN202210773248.6

申请日：

2022-07-01

公开(公告)号：

CN114995062A

公开(公告)日：

2022-09-02

发明(设计)人：

王晨星杨云春陆原张拴

申请人：

申请人地址：

101407 北京市怀柔区雁栖经济开发区雁栖大街53号院13号楼三层329-04室

IPC主分类号：

G03F716

IPC分类号：

G03F700

代理机构：

北京众达德权知识产权代理有限公司 11570

代理人：

王礞

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/16 申请日:20220701
2022-09-02	公开	公开

共 50 条

[1]

厚胶光刻方法及微结构器件 [P].

王晨星 ;

杨云春 ;

陆原 ;

张拴 .

中国专利 :CN114995062B ,2025-11-18

[2]

基于厚胶光刻的三维微结构加工方法 [P].

刘景全 ;

李凌瀚 .

中国专利 :CN1570768A ,2005-01-26

[3]

一种实现光刻胶微结构的方法 [P].

张天冲 ;

伊福廷 ;

王波 ;

刘静 ;

张新帅 .

中国专利 :CN104199252A ,2014-12-10

[4]

微结构器件的制造方法及其制造的微结构器件 [P].

高马悟觉 ;

水野义博 ;

奥田久雄 ;

曾根田弘光 ;

松本刚 ;

壶井修 ;

佐胁一平 .

中国专利 :CN101152955B ,2008-04-02

[5]

一种厚胶光刻工艺 [P].

陈哲 ;

张睿 ;

王者馥 ;

王绪敏 ;

殷金龙 ;

任鲁风 .

中国专利 :CN105867071A ,2016-08-17

[6]

光刻胶及光刻方法 [P].

袁华 ;

黄永发 ;

杨尚勇 ;

胡展源 .

中国专利 :CN110501873A ,2019-11-26

[7]

环氧树脂微结构器件的制备方法 [P].

李建华 ;

陈迪 ;

靖向萌 ;

朱军 ;

刘景全 .

中国专利 :CN1686781A ,2005-10-26

[8]

一种深台面结构侧壁光滑成型的厚胶光刻方法 [P].

王晓乾 ;

倪宇鹏 ;

李景峰 ;

任昂 .

中国专利 :CN119270591A ,2025-01-07

[9]

低粘度光刻胶增厚方法 [P].

李国强 ;

颜远彬 .

中国专利 :CN119472174A ,2025-02-18

[10]

超厚光刻胶的刻蚀方法 [P].

王雷 ;

郭晓波 ;

程晋广 .

中国专利 :CN103050394B ,2013-04-17

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