基于SU-8厚光刻胶的三维圆滑曲面微结构的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010275953.0

申请日：

2010-09-08

公开(公告)号：

CN101950126B

公开(公告)日：

2011-01-19

发明(设计)人：

李刚陈强沈念赵建龙

申请人：

申请人地址：

200050 上海市长宁区长宁路865号

IPC主分类号：

G03F700

IPC分类号：

B81C100

代理机构：

上海智信专利代理有限公司 31002

代理人：

潘振甦

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-03-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101056899760 IPC(主分类):G03F 7/00 专利申请号:2010102759530 申请日:20100908
2012-08-29	授权	授权
2011-01-19	公开	公开

共 50 条

[1]

基于SU-8光刻胶的三维微电极制备方法 [P].

赵清华 ;

史健芳 ;

李刚 ;

郭丽芳 ;

李大维 ;

张君慧 ;

马洋 ;

淡富奎 .

中国专利 :CN104701020A ,2015-06-10

[2]

基于SU-8光刻胶的纳米流体系统自支撑结构的制作方法 [P].

王旭迪 ;

李小军 ;

郑正龙 ;

李鑫 ;

金建 ;

田扬超 ;

付绍军 .

中国专利 :CN102012633A ,2011-04-13

[3]

基于厚胶光刻的三维微结构加工方法 [P].

刘景全 ;

李凌瀚 .

中国专利 :CN1570768A ,2005-01-26

[4]

一种圆滑曲面微结构的制作方法 [P].

李刚 ;

陈强 ;

孙晓娜 ;

赵建龙 .

中国专利 :CN101659391B ,2010-03-03

[5]

大面积且尺寸可控的基于SU-8光刻胶的纳米流体通道制作方法 [P].

李小军 ;

王旭迪 ;

陈勇 ;

邱克强 ;

金建 ;

付绍军 .

中国专利 :CN102311094A ,2012-01-11

[6]

超声提高SU-8光刻胶与金属基底界面结合强度的方法 [P].

杜立群 ;

张晓蕾 ;

王翱岸 ;

赵明 ;

赵珊珊 .

中国专利 :CN103436923A ,2013-12-11

[7]

正性光刻胶的制作方法 [P].

林广德 .

中国专利 :CN1673864A ,2005-09-28

[8]

光刻胶薄膜的制作方法 [P].

赖宝玲 .

中国专利 :CN103293859A ,2013-09-11

[9]

厚光刻胶背面斜入射光刻工艺的三维光强分布模拟方法 [P].

周再发 ;

黄庆安 ;

李伟华 .

中国专利 :CN102081311A ,2011-06-01

[10]

一种用于SU-8光刻胶表面修饰的涂层及其制备方法 [P].

王云兵 ;

李高参 ;

马博轩 ;

杨立 ;

邹耀中 ;

苏云鹏 ;

江鹏 .

中国专利 :CN111454479A ,2020-07-28

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