一种圆滑曲面微结构的制作方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200910195109.4
申请日
2009-09-04
公开(公告)号
CN101659391B
公开(公告)日
2010-03-03
发明(设计)人
李刚 陈强 孙晓娜 赵建龙
申请人
申请人地址
200050 上海市长宁区长宁路865号
IPC主分类号
B81C100
IPC分类号
B81B702 G03F700 G03F7038 G03F114
代理机构
上海智信专利代理有限公司 31002
代理人
潘振甦
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
基于SU-8厚光刻胶的三维圆滑曲面微结构的制作方法 [P]. 
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[3]
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[4]
一种曲面微结构柔性压力传感器的制作方法 [P]. 
付浩然 ;
张浩宇 ;
赵哲辉 ;
屠侠 ;
边学成 ;
陆益挺 ;
杨超 ;
蒋建群 .
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[5]
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[6]
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[8]
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赵娟 ;
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[9]
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[10]
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