光刻胶薄膜的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310203712.9

申请日：

2013-05-27

公开(公告)号：

CN103293859A

公开(公告)日：

2013-09-11

发明(设计)人：

赖宝玲

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市园区唯华路2号

IPC主分类号：

G03F716

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

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共 50 条

[1]

正性光刻胶的制作方法 [P].

林广德 .

中国专利 :CN1673864A ,2005-09-28

[2]

一种光刻胶薄膜的制备方法和光刻胶薄膜 [P].

李弋舟 ;

段聪 ;

钟选飞 .

中国专利 :CN118466116A ,2024-08-09

[3]

一种光刻胶及光刻胶图案的制作方法 [P].

刘明 ;

左岳平 ;

孟秋华 ;

王纯阳 ;

方飞 .

中国专利 :CN109270791A ,2019-01-25

[4]

光刻胶掩模及其制作方法 [P].

侯德胜 ;

冯伯儒 ;

张锦 .

中国专利 :CN1506759A ,2004-06-23

[5]

光刻胶台阶图形制作方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN108121156A ,2018-06-05

[6]

光刻胶沉积设备以及使用该设备形成光刻胶薄膜的方法 [P].

朴韓守 ;

權寧鍾 .

中国专利 :CN1501442A ,2004-06-02

[7]

一种疏水光刻胶薄膜的制备方法以及疏水光刻胶薄膜 [P].

陈鹏 ;

顾大公 ;

马潇 ;

毛智彪 ;

许从应 .

中国专利 :CN112904675A ,2021-06-04

[8]

基于MXene的黑色光刻胶色浆、黑色光刻胶、黑色光刻胶薄膜及各自的制备方法 [P].

郝俊杰 ;

唐俊 ;

成思敏 ;

翁吉 ;

赵王昱璞 ;

黎可欣 ;

莫人硕 ;

李以文 ;

唐浩东 .

中国专利 :CN118642326A ,2024-09-13

[9]

光刻胶、光刻胶组合产品及光刻胶图案化的方法 [P].

徐宏 ;

何向明 ;

刘天棋 .

中国专利 :CN115903376B ,2025-01-14

[10]

光刻胶、离地剥离的方法和TFT阵列基板的制作方法 [P].

宋勇志 ;

郝昭慧 ;

王煦 ;

罗会月 ;

王树民 .

中国专利 :CN102455596B ,2012-05-16

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-08-28	文件的公告送达	文件的公告送达号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101654095688 IPC(主分类):G03F 7/16 专利号:无专利申请号:2013102037129 收件人:苏州扬清芯片科技有限公司文件名称:发明专利申请初步审查合格通知书
2015-11-25	文件的公告送达	文件的公告送达号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101724080696 IPC(主分类):G03F 7/16 专利号:无专利申请号:2013102037129 收件人:苏州扬清芯片科技有限公司文件名称:手续合格通知书
2013-11-06	文件的公告送达	文件的公告送达号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101669086683 IPC(主分类):G03F 7/16 专利号:无专利申请号:2013102037129 收件人:叶嘉明文件名称:发明专利申请公布及进入实质审查通知书
2015-12-09	文件的公告送达	文件的公告送达号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101724712614 IPC(主分类):G03F 7/16 专利号:无专利申请号:2013102037129 收件人:苏州扬清芯片科技有限公司文件名称:视为撤回通知书
2016-05-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101732261246 IPC(主分类):G03F 7/16 专利申请号:2013102037129 申请公布日:20130911
2013-10-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101529125129 IPC(主分类):G03F 7/16 专利申请号:2013102037129 申请日:20130527
2015-03-11	文件的公告送达	文件的公告送达号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101712074373 IPC(主分类):G03F 7/16 专利号:无专利申请号:2013102037129 收件人:苏州扬清芯片科技有限公司文件名称:第一次审查意见通知书
2013-09-11	公开	公开