一种疏水光刻胶薄膜的制备方法以及疏水光刻胶薄膜

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110113018.2

申请日：

2021-01-27

公开(公告)号：

CN112904675A

公开(公告)日：

2021-06-04

发明(设计)人：

陈鹏顾大公马潇毛智彪许从应

申请人：

申请人地址：

315800 浙江省宁波市北仑区柴桥街道青山路21号

IPC主分类号：

G03F716

IPC分类号：

代理机构：

深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333

代理人：

贾振勇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-04	公开	公开
2021-06-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/16 申请日:20210127

共 50 条

[1]

一种光刻胶薄膜的制备方法和光刻胶薄膜 [P].

李弋舟 ;

段聪 ;

钟选飞 .

中国专利 :CN118466116A ,2024-08-09

[2]

光刻胶沉积设备以及使用该设备形成光刻胶薄膜的方法 [P].

朴韓守 ;

權寧鍾 .

中国专利 :CN1501442A ,2004-06-02

[3]

光刻胶去除方法以及光刻胶去除系统 [P].

赵仲平 ;

张文龙 ;

戴茂春 ;

淮赛男 ;

周宇 .

中国专利 :CN113721430B ,2021-11-30

[4]

光刻胶薄膜的制作方法 [P].

赖宝玲 .

中国专利 :CN103293859A ,2013-09-11

[5]

光刻胶、光刻胶组合产品及光刻胶图案化的方法 [P].

徐宏 ;

何向明 ;

刘天棋 .

中国专利 :CN115903376B ,2025-01-14

[6]

一种光刻胶树脂、制备方法及光刻胶 [P].

纪学顺 ;

蒋志强 ;

马吉全 .

中国专利 :CN121135937A ,2025-12-16

[7]

具有联合增稠剂的带水光刻胶 [P].

罗伯特·K·巴尔 .

中国专利 :CN1118886A ,1996-03-20

[8]

光刻胶涂布系统以及更换光刻胶的方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

刘金彪 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN111897187A ,2020-11-06

[9]

光刻胶涂布系统以及更换光刻胶的方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

刘金彪 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN111897187B ,2024-04-16

[10]

基于MXene的黑色光刻胶色浆、黑色光刻胶、黑色光刻胶薄膜及各自的制备方法 [P].

郝俊杰 ;

唐俊 ;

成思敏 ;

翁吉 ;

赵王昱璞 ;

黎可欣 ;

莫人硕 ;

李以文 ;

唐浩东 .

中国专利 :CN118642326A ,2024-09-13

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