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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 1995-05-10 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |
| 1996-03-20 | 公开 | 公开 |
| 2014-10-22 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 号牌文件类型代码:1611 号牌文件序号:101587728763 IPC(主分类):G03F 7/032 专利号:ZL941161293 申请日:19940916 授权公告日:20020123 期满终止日期:20140916 |
| 2002-06-19 | 发明专利说明书更正 | 发明专利说明书更正更正 卷:18 号:4 页码:扉页 更正项目:专利权人 误:奥托里夫ASP股份有限公司 正:莫顿国际股份有限公司 |
| 2002-01-23 | 授权 | 授权 |