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晶圆对中装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110012806.2
申请日：
2021-01-06
公开(公告)号：
CN112635380A
公开(公告)日：
2021-04-09
发明(设计)人：
边晓东 马雪婷 刘豫东 刘建民 王洪建
申请人：
申请人地址：
100176 北京市北京经济技术开发区泰河三街1号
IPC主分类号：
H01L2168
IPC分类号：
代理机构：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463
代理人：
李翠
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-04-09 公开 公开
2021-04-27 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20210106
共 50 条
[1]
晶圆对中装置 [P]. 
郭振 ;
王小锋 .
中国专利 :CN223181111U ,2025-08-01
[2]
晶圆对中装置及方法 [P]. 
夏子奂 ;
王秋瑾 .
中国专利 :CN121237715A ,2025-12-30
[3]
晶圆寻边对中装置 [P]. 
万先进 ;
钱宇强 ;
张怀东 ;
田鑫 ;
朱松 ;
边逸军 .
中国专利 :CN221379328U ,2024-07-19
[4]
晶圆对中方法及对中装置 [P]. 
万先进 ;
肖儒良 ;
何红秀 ;
卢文 ;
黄骏 ;
尤国振 ;
锁志勇 .
中国专利 :CN120497189A ,2025-08-15
[5]
晶圆托盘对中装置及晶圆生产设备 [P]. 
刘亮辉 ;
许崇毅 ;
肖蕴章 ;
陈炳安 ;
钟国仿 .
中国专利 :CN223427476U ,2025-10-10
[6]
便捷兼容式晶圆对中装置 [P]. 
戴红峰 ;
王一 ;
关贺聲 ;
王本义 ;
刘迟 ;
于宏嘉 .
中国专利 :CN216648261U ,2022-05-31
[7]
一种晶圆对中装置 [P]. 
华斌 ;
蔡超 ;
李文轩 .
中国专利 :CN113990794B ,2024-12-17
[8]
一种晶圆对中装置 [P]. 
吕龙 ;
洪超 ;
张守成 ;
陈怡福 .
中国专利 :CN215771095U ,2022-02-08
[9]
一种晶圆对中装置 [P]. 
汪钢 ;
傅立超 .
中国专利 :CN113035764B ,2021-06-25
[10]
一种晶圆对中装置 [P]. 
邹涛涛 ;
曹丹丹 ;
康龙 ;
胡瑶 ;
董国庆 ;
文国昇 ;
金从龙 .
中国专利 :CN220984492U ,2024-05-17
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