晶圆对中装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421384584.2

申请日：

2024-06-17

公开(公告)号：

CN223181111U

公开(公告)日：

2025-08-01

发明(设计)人：

郭振王小锋

申请人：

颀中科技（苏州）有限公司合肥颀中科技股份有限公司

申请人地址：

215024 江苏省苏州市工业园区凤里街166号

IPC主分类号：

H01L21/68

IPC分类号：

H01L21/687

代理机构：

苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235

代理人：

秦健桐

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-01	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆对中装置 [P].

边晓东 ;

马雪婷 ;

刘豫东 ;

刘建民 ;

王洪建 .

中国专利 :CN112635380A ,2021-04-09

[2]

一种晶圆对中装置 [P].

邹涛涛 ;

曹丹丹 ;

康龙 ;

胡瑶 ;

董国庆 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN220984492U ,2024-05-17

[3]

晶圆寻边对中装置 [P].

万先进 ;

钱宇强 ;

张怀东 ;

田鑫 ;

朱松 ;

边逸军 .

中国专利 :CN221379328U ,2024-07-19

[4]

晶圆托盘对中装置及晶圆生产设备 [P].

刘亮辉 ;

许崇毅 ;

肖蕴章 ;

陈炳安 ;

钟国仿 .

中国专利 :CN223427476U ,2025-10-10

[5]

便捷兼容式晶圆对中装置 [P].

戴红峰 ;

王一 ;

关贺聲 ;

王本义 ;

刘迟 ;

于宏嘉 .

中国专利 :CN216648261U ,2022-05-31

[6]

一种晶圆对中装置 [P].

吕龙 ;

洪超 ;

张守成 ;

陈怡福 .

中国专利 :CN215771095U ,2022-02-08

[7]

晶圆片夹持式对中装置 [P].

旷贤国 ;

李佳晖 ;

周立强 .

中国专利 :CN221327676U ,2024-07-12

[8]

一种晶圆对中装置 [P].

赵宁 ;

白富强 ;

陈波 .

中国专利 :CN208093534U ,2018-11-13

[9]

晶圆对中装置及方法 [P].

夏子奂 ;

王秋瑾 .

中国专利 :CN121237715A ,2025-12-30

[10]

一种晶圆对中装置及晶圆涂胶设备 [P].

郭玉峰 ;

董国庆 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN222817242U ,2025-05-02

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