便捷兼容式晶圆对中装置

被引：0

申请号：

CN202123314962.9

申请日：

2021-12-27

公开(公告)号：

CN216648261U

公开(公告)日：

2022-05-31

发明(设计)人：

戴红峰王一关贺聲王本义刘迟于宏嘉

申请人：

申请人地址：

110168 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

代理机构：

沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002

代理人：

白振宇

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-31	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆对中装置 [P].

郭振 ;

王小锋 .

中国专利 :CN223181111U ,2025-08-01

[2]

一种半导体晶圆对中装置 [P].

李蕾 ;

王一 ;

张怀东 ;

邹春太 .

中国专利 :CN220963280U ,2024-05-14

[3]

一种晶圆寻边对中装置 [P].

孙中臣 .

中国专利 :CN223450870U ,2025-10-17

[4]

晶圆片夹持式对中装置 [P].

旷贤国 ;

李佳晖 ;

周立强 .

中国专利 :CN221327676U ,2024-07-12

[5]

晶圆托盘对中装置及晶圆生产设备 [P].

刘亮辉 ;

许崇毅 ;

肖蕴章 ;

陈炳安 ;

钟国仿 .

中国专利 :CN223427476U ,2025-10-10

[6]

晶圆对中装置 [P].

边晓东 ;

马雪婷 ;

刘豫东 ;

刘建民 ;

王洪建 .

中国专利 :CN112635380A ,2021-04-09

[7]

一种晶圆对中装置 [P].

赵宁 ;

白富强 ;

陈波 .

中国专利 :CN208093534U ,2018-11-13

[8]

一种机械式晶圆对中装置 [P].

刘晓龙 ;

王冲 .

中国专利 :CN213519909U ,2021-06-22

[9]

晶圆寻边对中装置 [P].

万先进 ;

钱宇强 ;

张怀东 ;

田鑫 ;

朱松 ;

边逸军 .

中国专利 :CN221379328U ,2024-07-19

[10]

一种兼容多规格晶圆特征的对中装置 [P].

黄海荣 ;

谢柏弘 .

中国专利 :CN216288359U ,2022-04-12

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