一种晶圆寻边对中装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202422888390.2
申请日
2024-11-26
公开(公告)号
CN223450870U
公开(公告)日
2025-10-17
发明(设计)人
孙中臣
申请人
亿元达(天津)机电科技有限公司
申请人地址
301700 天津市武清区京滨工业园民旺路8号4号厂房
IPC主分类号
H01L21/68
IPC分类号
H01L21/67
代理机构
北京鼎拓恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 16098
代理人
刘雪娜
法律状态
授权
国省代码
天津市 市辖区
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共 50 条
[1]
晶圆寻边对中装置 [P]. 
万先进 ;
钱宇强 ;
张怀东 ;
田鑫 ;
朱松 ;
边逸军 .
中国专利 :CN221379328U ,2024-07-19
[2]
便捷兼容式晶圆对中装置 [P]. 
戴红峰 ;
王一 ;
关贺聲 ;
王本义 ;
刘迟 ;
于宏嘉 .
中国专利 :CN216648261U ,2022-05-31
[3]
一种晶圆对中装置 [P]. 
赵宁 ;
白富强 ;
陈波 .
中国专利 :CN208093534U ,2018-11-13
[4]
一种晶圆对中装置及晶圆对中方法 [P]. 
郝斌荣 ;
陈胜华 ;
李朋 ;
周开祥 ;
杜开禧 .
中国专利 :CN118629930B ,2025-01-24
[5]
一种晶圆对中装置及晶圆对中方法 [P]. 
郝斌荣 ;
陈胜华 ;
李朋 ;
周开祥 ;
杜开禧 .
中国专利 :CN118629930A ,2024-09-10
[6]
晶圆对中寻边机构 [P]. 
王恒 ;
杨志勇 .
中国专利 :CN222966102U ,2025-06-10
[7]
晶圆对中装置 [P]. 
郭振 ;
王小锋 .
中国专利 :CN223181111U ,2025-08-01
[8]
一种晶圆自动对中装置 [P]. 
徐传勇 ;
孙文杰 .
中国专利 :CN223728747U ,2025-12-26
[9]
一种晶圆寻边的装置 [P]. 
肖博翰 ;
王野 ;
闵中华 ;
毕厚海 ;
王印勋 .
中国专利 :CN222690639U ,2025-03-28
[10]
一种晶圆对中装置 [P]. 
吕龙 ;
洪超 ;
张守成 ;
陈怡福 .
中国专利 :CN215771095U ,2022-02-08