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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2004-06-02 | 授权 | 授权 |
| 2016-06-29 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 号牌文件类型代码:1611 号牌文件序号:101667772337 IPC(主分类):H01L 21/336 专利号:ZL961051280 申请日:19960520 授权公告日:20040602 终止日期:无 |
| 2002-02-06 | 专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 | 专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更事项:申请人 变更前权利人:三星电子株式会社 变更后权利人:快捷韩国半导体有限公司 登记生效日:20011204 |
| 1999-05-19 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |
| 1997-08-06 | 公开 | 公开 |