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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-11 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/336 登记生效日:20220228 变更事项:专利权人 变更前权利人:中国科学院微电子研究所 变更后权利人:北京中科微投资管理有限责任公司 变更事项:地址 变更前权利人:100029 北京市朝阳区北土城西路3号 变更后权利人:100010 北京市东城区大取灯胡同2号4号楼1层108室 |
| 2015-06-24 | 公开 | 公开 |
| 2018-03-16 | 授权 | 授权 |
| 2015-07-22 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101617854806 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:2013107138041 申请日:20131220 |