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一种晶元清洗装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201610816294.4
申请日：
2016-09-09
公开(公告)号：
CN107086188A
公开(公告)日：
2017-08-22
发明(设计)人：
郭辉
陈斌
矦亚茹
申请人：
申请人地址：
518052 广东省深圳市南山区南头街道南海大道3025号创意大厦13-14楼
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L2102
代理机构：
代理人：
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-25 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/67 变更事项:专利权人 变更前:深圳市新纶科技股份有限公司 变更后:新纶新材料股份有限公司 变更事项:地址 变更前:518052 广东省深圳市南山区南头街道南海大道3025号创意大厦13-14楼 变更后:518052 广东省深圳市福田街道圩镇社区福田路24号海岸环庆大厦32层 |
| 2020-07-03 | 授权 | 授权 |
| 2017-09-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101748362445 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2016108162944 申请日:20160909 |
| 2017-08-22 | 公开 | 公开 |