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一种易于清除结晶堆积的晶元清洗装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411781709.X
申请日：
2024-12-05
公开(公告)号：
CN119560415A
公开(公告)日：
2025-03-04
发明(设计)人：
陈翠平
周文豪
申请人：
济南莱斯机械科技有限公司
申请人地址：
250000 山东省济南市历下区文化东路63号23栋1单元903
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
B08B3/02
B08B13/00
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-03-04 | 公开 | 公开 |
| 2025-03-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20241205 |