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一种晶圆清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202420243588.2
申请日：
2024-01-31
公开(公告)号：
CN221727072U
公开(公告)日：
2024-09-17
发明(设计)人：
臧志城
陈慧新
申请人：
浙江创芯集成电路有限公司
申请人地址：
311200 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设三路733号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
B08B13/00
B08B3/02
代理机构：
上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327
代理人：
李丽
法律状态：
授权
国省代码：
浙江省
杭州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-09-17 | 授权 | 授权 |