一种晶锭清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422853030.9

申请日：

2024-11-22

公开(公告)号：

CN223556698U

公开(公告)日：

2025-11-18

发明(设计)人：

黄少华高超寇明虎

申请人：

北京特思迪半导体设备有限公司

申请人地址：

101300 北京市顺义区杜杨北街3号院6号楼（顺创）

IPC主分类号：

B08B3/12

IPC分类号：

B08B13/00

代理机构：

代理人：

法律状态：

授权

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-18	授权	授权

共 50 条

[1]

碳化硅晶锭清洗装置 [P].

芮岩涛 ;

翟虎 ;

林宏达 ;

孙金梅 .

中国专利 :CN222551529U ,2025-03-04

[2]

一种晶元清洗装置 [P].

郭辉 ;

陈斌 ;

矦亚茹 .

中国专利 :CN107086188A ,2017-08-22

[3]

一种半导体晶圆清洗装置 [P].

华斌 ;

赵天翔 ;

丁宏程 .

中国专利 :CN120394457A ,2025-08-01

[4]

一种半导体晶圆清洗装置 [P].

刘金章 ;

杨欣泽 .

中国专利 :CN208538807U ,2019-02-22

[5]

一种晶圆清洗装置和方法 [P].

请求不公布姓名 ;

苗伟 ;

王向东 .

中国专利 :CN120755106A ,2025-10-10

[6]

一种半导体晶圆清洗装置 [P].

华斌 ;

赵天翔 ;

丁宏程 .

中国专利 :CN120394457B ,2025-09-02

[7]

一种晶圆清洗装置 [P].

林擎宇 ;

尚宏博 .

中国专利 :CN211670178U ,2020-10-13

[8]

一种晶圆清洗装置 [P].

谈国敏 ;

周峰 .

中国专利 :CN222720352U ,2025-04-04

[9]

一种晶圆清洗装置 [P].

翁裕斌 ;

朱峰 ;

翁伊宁 .

中国专利 :CN216902835U ,2022-07-05

[10]

一种晶圆清洗装置 [P].

赵岩 ;

樊开明 ;

张礼杰 ;

周建军 .

中国专利 :CN221899975U ,2024-10-25

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