一种外延生长氮化铝的方法、氮化铝材料及应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811381279.7

申请日：

2018-11-20

公开(公告)号：

CN111199870A

公开(公告)日：

2020-05-26

发明(设计)人：

徐俞王建峰徐科

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市苏州工业园区星湖街218号生物纳米园A7-101

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L3300 H01L3332

代理机构：

南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256

代理人：

王茹;王锋

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-26	公开	公开
2020-06-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20181120

共 50 条

[1]

提高氮化铝材料晶体质量的外延生长方法及氮化铝材料 [P].

孙钱 ;

黄应南 ;

刘建勋 ;

孙秀建 ;

詹晓宁 ;

高宏伟 ;

杨辉 .

中国专利 :CN113279054A ,2021-08-20

[2]

一种同质外延生长氮化镓的方法、氮化镓材料及应用 [P].

徐俞 ;

王建峰 ;

徐科 .

中国专利 :CN109841497B ,2019-06-04

[3]

一种氮化铝材料加工的氮化铝炉体 [P].

范国峰 ;

赵丽丽 .

中国专利 :CN221444811U ,2024-07-30

[4]

氮化铝薄膜及其远程外延生长方法 [P].

曹冰 ;

刘淼 ;

夏天 .

中国专利 :CN120738771A ,2025-10-03

[5]

一种同质外延生长氮化铝单晶的方法 [P].

吴亮 ;

贺广东 ;

黄嘉丽 ;

雷丹 ;

王智昊 ;

王琦琨 ;

龚加玮 ;

黄毅 .

中国专利 :CN108624954A ,2018-10-09

[6]

生长氮化铝晶体的方法、制造氮化铝晶体的方法和氮化铝晶体 [P].

谷崎圭祐 ;

水原奈保 ;

宫永伦正 ;

中幡英章 ;

山本喜之 .

中国专利 :CN101842524A ,2010-09-22

[7]

单晶氮化铝材料及其制备方法 [P].

王新强 ;

袁冶 ;

刘上锋 ;

康俊杰 ;

罗巍 ;

李泰 ;

曹家康 .

中国专利 :CN117488408A ,2024-02-02

[8]

单晶氮化铝材料及其制备方法 [P].

王新强 ;

袁冶 ;

刘上锋 ;

康俊杰 ;

罗巍 ;

李泰 ;

曹家康 .

中国专利 :CN117488408B ,2024-05-10

[9]

一种氮化铝外延层生长方法 [P].

周陈 ;

唐军 ;

潘尧波 .

中国专利 :CN109599324B ,2019-04-09

[10]

一种氮化铝外延结构及其生长方法 [P].

周圣军 ;

宫丽艳 ;

胡红坡 ;

万辉 .

中国专利 :CN111261759B ,2020-06-09

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