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离子束设备用双灯丝中和器
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910018562.1
申请日：
2019-01-09
公开(公告)号：
CN109881174A
公开(公告)日：
2019-06-14
发明(设计)人：
不公告发明人
申请人：
申请人地址：
102101 北京市延庆区康庄镇八达岭开发区风谷四路8号院26号楼
IPC主分类号：
C23C1446
IPC分类号：
H01J3730
H01J37305
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-07-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/46 申请日:20190109 |
| 2019-06-14 | 公开 | 公开 |