晶圆加工机的二次整平设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711328992.0

申请日：

2017-12-13

公开(公告)号：

CN109920719A

公开(公告)日：

2019-06-21

发明(设计)人：

邱瑞良

申请人：

申请人地址：

223400 江苏省淮安市涟水县经济开发区炎黄大道16号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139

代理人：

孙皓晨;李林

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20171213
2020-09-04	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):H01L 21/02 申请公布日:20190621
2019-06-21	公开	公开

共 50 条

[1]

一种晶圆加工机的二次整平设备 [P].

林斌发 .

中国专利 :CN112509952A ,2021-03-16

[2]

一种晶圆加工机的二次整平设备 [P].

唐涛 .

中国专利 :CN110648951A ,2020-01-03

[3]

拉簧二次加工机及其使用该拉簧二次加工机的弹簧加工机 [P].

林信涌 .

中国专利 :CN204108194U ,2015-01-21

[4]

高精度二次加工机 [P].

张圣昆 .

中国专利 :CN101642824B ,2010-02-10

[5]

高精度二次加工机 [P].

张圣昆 .

中国专利 :CN201455367U ,2010-05-12

[6]

数控多工位二次加工机 [P].

李铁军 ;

周顺红 .

中国专利 :CN307661777S ,2022-11-15

[7]

内衬夹头式二次加工机 [P].

吴健辉 .

中国专利 :CN102371360A ,2012-03-14

[8]

内衬夹头式二次加工机 [P].

吴健辉 .

中国专利 :CN201799612U ,2011-04-20

[9]

一种晶圆吸附装置及晶圆加工机 [P].

王育才 ;

崔铭博 .

中国专利 :CN117832150B ,2024-05-31

[10]

一种晶圆吸附装置及晶圆加工机 [P].

王育才 ;

崔铭博 .

中国专利 :CN117832150A ,2024-04-05

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