一种高温扩散炉体

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811112530.X

申请日：

2018-09-25

公开(公告)号：

CN109023530A

公开(公告)日：

2018-12-18

发明(设计)人：

薛慧敏胡新军梁晶晶

申请人：

申请人地址：

243000 安徽省马鞍山市雨山区碧水湾小区9栋102室

IPC主分类号：

C30B3110

IPC分类号：

C30B3116 C30B2906

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-18	公开	公开
2019-01-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 31/10 申请日:20180925
2021-10-29	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C30B 31/10 申请公布日:20181218

共 50 条

[1]

一种高温扩散炉用石英管 [P].

陈文 .

中国专利 :CN214937970U ,2021-11-30

[2]

一种低压高温扩散炉 [P].

秦崇德 ;

方结彬 ;

石强 ;

黄玉平 ;

何达能 ;

陈刚 .

中国专利 :CN205347629U ,2016-06-29

[3]

一种用于高温扩散氧化炉的水冷炉体 [P].

刘良玉 ;

舒庆予 ;

唐勇 ;

张宝锋 ;

曹骞 .

中国专利 :CN204045554U ,2014-12-24

[4]

一种高温扩散设备 [P].

陈德榜 .

中国专利 :CN205917347U ,2017-02-01

[5]

扩散炉炉体 [P].

姜新诚 ;

施广博 ;

王兆敏 .

中国专利 :CN108870974A ,2018-11-23

[6]

一种半导体高温扩散炉管 [P].

李秉永 ;

吕明 ;

郭城 .

中国专利 :CN201942793U ,2011-08-24

[7]

一种科研型高温扩散炉 [P].

刘明利 ;

王龙峰 .

中国专利 :CN217499503U ,2022-09-27

[8]

一种螺旋缓冲式高温扩散炉管 [P].

李艳敏 .

中国专利 :CN213481025U ,2021-06-18

[9]

一种螺旋缓冲式高温扩散炉管 [P].

郭城 ;

吕明 ;

王永超 ;

郭英云 .

中国专利 :CN208271836U ,2018-12-21

[10]

一种硅片高温扩散设备 [P].

周士杰 ;

陈圣铁 .

中国专利 :CN205774928U ,2016-12-07

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