一种半导体高温扩散炉管

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120014548.3

申请日：

2011-01-18

公开(公告)号：

CN201942793U

公开(公告)日：

2011-08-24

发明(设计)人：

李秉永吕明郭城

申请人：

申请人地址：

250200 山东省济南市章丘市明埠路中段东

IPC主分类号：

C30B3106

IPC分类号：

C30B3116 H01L2167

代理机构：

济南舜源专利事务所有限公司 37205

代理人：

张维斗

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-08-24	授权	授权
2015-03-11	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101601135718 IPC(主分类):C30B 31/06 专利号:ZL2011200145483 申请日:20110118 授权公告日:20110824 终止日期:20140118

共 50 条

[1]

一种半导体高温扩散炉管 [P].

黄辉成 .

中国专利 :CN210110717U ,2020-02-21

[2]

一种电力半导体高温扩散炉管 [P].

夏清波 .

中国专利 :CN213459664U ,2021-06-15

[3]

一种半导体高温扩散炉 [P].

朱滨泉 ;

王秋玲 ;

蔡宗捷 ;

苏益兴 .

中国专利 :CN119663454A ,2025-03-21

[4]

一种半导体高温炉管 [P].

都业志 ;

李玉花 .

中国专利 :CN221571142U ,2024-08-20

[5]

一种螺旋缓冲式高温扩散炉管 [P].

郭城 ;

吕明 ;

王永超 ;

郭英云 .

中国专利 :CN208271836U ,2018-12-21

[6]

一种螺旋缓冲式高温扩散炉管 [P].

李艳敏 .

中国专利 :CN213481025U ,2021-06-18

[7]

一种半导体高温热扩散舟 [P].

顾国红 ;

薛列龙 .

中国专利 :CN201383494Y ,2010-01-13

[8]

一种基于精确控制的半导体高温扩散炉风扇过滤系统 [P].

黄莉 ;

赵方乐 ;

侯新建 .

中国专利 :CN118128788B ,2024-07-02

[9]

一种基于精确控制的半导体高温扩散炉风扇过滤系统 [P].

黄莉 ;

赵方乐 ;

侯新建 .

中国专利 :CN118128788A ,2024-06-04

[10]

一种晶圆氧化用高温扩散炉管 [P].

蔡伦 .

中国专利 :CN205635862U ,2016-10-12

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