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一种晶圆氧化用高温扩散炉管
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201620336030.4
申请日：
2016-04-19
公开(公告)号：
CN205635862U
公开(公告)日：
2016-10-12
发明(设计)人：
蔡伦
申请人：
申请人地址：
325000 浙江省温州市经济技术开发区滨海园区明珠路687号
IPC主分类号：
C30B3116
IPC分类号：
代理机构：
上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218
代理人：
翟羽
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-10-12 | 授权 | 授权 |
| 2017-12-19 | 避免重复授权放弃专利权 | 避免重复授予专利权 IPC(主分类):C30B 31/16 申请日:20160419 授权公告日:20161012 放弃生效日:20171219 |