一种高温扩散炉炉管运输车

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421366635.9

申请日：

2024-06-14

公开(公告)号：

CN222408341U

公开(公告)日：

2025-01-28

发明(设计)人：

徐凯郝建勇

申请人：

浙江芯晟半导体科技有限责任公司

申请人地址：

314006 浙江省嘉兴市南湖区大桥镇凌公塘路3556号南湖海创园10号楼306室

IPC主分类号：

B62B3/04

IPC分类号：

B62B3/02 B62B5/00

代理机构：

杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217

代理人：

沈俭因

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-28	授权	授权

共 50 条

[1]

高温扩散炉炉管运输车 [P].

徐凯 ;

郝建勇 .

中国专利 :CN222408340U ,2025-01-28

[2]

一种高温扩散炉用炉管 [P].

邹大恒 ;

张怀龙 ;

赵帅 .

中国专利 :CN220550266U ,2024-03-01

[3]

石英炉管运输车 [P].

胡春辉 ;

张熙 ;

赵献雷 ;

郝晓波 ;

付振 .

中国专利 :CN203381663U ,2014-01-08

[4]

一种半导体高温扩散炉管 [P].

黄辉成 .

中国专利 :CN210110717U ,2020-02-21

[5]

一种半导体高温扩散炉管 [P].

李秉永 ;

吕明 ;

郭城 .

中国专利 :CN201942793U ,2011-08-24

[6]

一种低压高温扩散炉 [P].

秦崇德 ;

方结彬 ;

石强 ;

黄玉平 ;

何达能 ;

陈刚 .

中国专利 :CN205347629U ,2016-06-29

[7]

一种晶圆氧化用高温扩散炉管 [P].

王倩 ;

付丽敏 ;

马赛美 ;

王锴宁 ;

李志超 .

中国专利 :CN216891326U ,2022-07-05

[8]

一种电力半导体高温扩散炉管 [P].

夏清波 .

中国专利 :CN213459664U ,2021-06-15

[9]

一种晶圆氧化用高温扩散炉管 [P].

蔡伦 .

中国专利 :CN205635862U ,2016-10-12

[10]

一种螺旋缓冲式高温扩散炉管 [P].

李艳敏 .

中国专利 :CN213481025U ,2021-06-18

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