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一种螺旋缓冲式高温扩散炉管
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202022715168.4
申请日
:
2020-11-20
公开(公告)号
:
CN213481025U
公开(公告)日
:
2021-06-18
发明(设计)人
:
李艳敏
申请人
:
申请人地址
:
300000 天津市北辰区青光镇青光村福广路1号
IPC主分类号
:
F27D706
IPC分类号
:
F27D702
代理机构
:
天津睿勤专利代理事务所(普通合伙) 12225
代理人
:
孟福成
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-06-18
授权
授权
共 50 条
[1]
一种螺旋缓冲式高温扩散炉管
[P].
郭城
论文数:
0
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0
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0
郭城
;
吕明
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吕明
;
王永超
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王永超
;
郭英云
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郭英云
.
中国专利
:CN208271836U
,2018-12-21
[2]
一种半导体高温扩散炉管
[P].
李秉永
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李秉永
;
吕明
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吕明
;
郭城
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郭城
.
中国专利
:CN201942793U
,2011-08-24
[3]
一种半导体高温扩散炉管
[P].
黄辉成
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0
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0
黄辉成
.
中国专利
:CN210110717U
,2020-02-21
[4]
一种电力半导体高温扩散炉管
[P].
夏清波
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夏清波
.
中国专利
:CN213459664U
,2021-06-15
[5]
一种晶圆氧化用高温扩散炉管
[P].
蔡伦
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0
蔡伦
.
中国专利
:CN205635862U
,2016-10-12
[6]
一种高温扩散炉用炉管
[P].
邹大恒
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机构:
江苏龙恒新能源有限公司
江苏龙恒新能源有限公司
邹大恒
;
张怀龙
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机构:
江苏龙恒新能源有限公司
江苏龙恒新能源有限公司
张怀龙
;
赵帅
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机构:
江苏龙恒新能源有限公司
江苏龙恒新能源有限公司
赵帅
.
中国专利
:CN220550266U
,2024-03-01
[7]
一种晶圆氧化用高温扩散炉管
[P].
王倩
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王倩
;
付丽敏
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付丽敏
;
马赛美
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马赛美
;
王锴宁
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王锴宁
;
李志超
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李志超
.
中国专利
:CN216891326U
,2022-07-05
[8]
一种晶圆氧化用高温扩散炉管
[P].
蔡伦
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蔡伦
.
中国专利
:CN105734675A
,2016-07-06
[9]
一种高温扩散炉炉管运输车
[P].
徐凯
论文数:
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机构:
浙江芯晟半导体科技有限责任公司
浙江芯晟半导体科技有限责任公司
徐凯
;
郝建勇
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机构:
浙江芯晟半导体科技有限责任公司
浙江芯晟半导体科技有限责任公司
郝建勇
.
中国专利
:CN222408341U
,2025-01-28
[10]
一种维持稳定磷蒸汽流的高温扩散炉管
[P].
王黎明
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机构:
江苏晟驰微电子有限公司
江苏晟驰微电子有限公司
王黎明
.
中国专利
:CN118207634A
,2024-06-18
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