一种螺旋缓冲式高温扩散炉管

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202022715168.4
申请日
2020-11-20
公开(公告)号
CN213481025U
公开(公告)日
2021-06-18
发明(设计)人
李艳敏
申请人
申请人地址
300000 天津市北辰区青光镇青光村福广路1号
IPC主分类号
F27D706
IPC分类号
F27D702
代理机构
天津睿勤专利代理事务所(普通合伙) 12225
代理人
孟福成
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种螺旋缓冲式高温扩散炉管 [P]. 
郭城 ;
吕明 ;
王永超 ;
郭英云 .
中国专利 :CN208271836U ,2018-12-21
[2]
一种半导体高温扩散炉管 [P]. 
李秉永 ;
吕明 ;
郭城 .
中国专利 :CN201942793U ,2011-08-24
[3]
一种半导体高温扩散炉管 [P]. 
黄辉成 .
中国专利 :CN210110717U ,2020-02-21
[4]
一种电力半导体高温扩散炉管 [P]. 
夏清波 .
中国专利 :CN213459664U ,2021-06-15
[5]
一种晶圆氧化用高温扩散炉管 [P]. 
蔡伦 .
中国专利 :CN205635862U ,2016-10-12
[6]
一种高温扩散炉用炉管 [P]. 
邹大恒 ;
张怀龙 ;
赵帅 .
中国专利 :CN220550266U ,2024-03-01
[7]
一种晶圆氧化用高温扩散炉管 [P]. 
王倩 ;
付丽敏 ;
马赛美 ;
王锴宁 ;
李志超 .
中国专利 :CN216891326U ,2022-07-05
[8]
一种晶圆氧化用高温扩散炉管 [P]. 
蔡伦 .
中国专利 :CN105734675A ,2016-07-06
[9]
一种高温扩散炉炉管运输车 [P]. 
徐凯 ;
郝建勇 .
中国专利 :CN222408341U ,2025-01-28
[10]
一种维持稳定磷蒸汽流的高温扩散炉管 [P]. 
王黎明 .
中国专利 :CN118207634A ,2024-06-18