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一种晶圆载具
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011222791.4
申请日：
2020-11-05
公开(公告)号：
CN112331599A
公开(公告)日：
2021-02-05
发明(设计)人：
张正杰
申请人：
申请人地址：
250000 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
代理机构：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463
代理人：
张洋
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20201105 |
| 2021-02-05 | 公开 | 公开 |