一种晶圆载具、晶圆清洗系统及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810315961.X

申请日：

2018-04-10

公开(公告)号：

CN108470708A

公开(公告)日：

2018-08-31

发明(设计)人：

李恒甫

申请人：

申请人地址：

214135 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号传感网国际创新园D1栋

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人：

马永芬

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20180410
2018-08-31	公开	公开
2020-12-04	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆清洗系统及晶圆清洗方法 [P].

史蒂文·贺·汪 .

中国专利 :CN112053972A ,2020-12-08

[2]

一种晶圆清洗系统及晶圆清洗方法 [P].

胡自立 .

中国专利 :CN118448295A ,2024-08-06

[3]

一种晶圆清洗方法及晶圆清洗系统 [P].

李国强 ;

衣新燕 ;

廖东园 .

中国专利 :CN118969601A ,2024-11-15

[4]

晶圆清洗花篮及晶圆清洗系统 [P].

程谦 ;

王虎 ;

陈贤辉 .

中国专利 :CN208781813U ,2019-04-23

[5]

晶圆清洗装置及晶圆清洗系统 [P].

赵宝君 ;

祝福生 ;

张伟锋 ;

袁恋 ;

王文丽 ;

夏楠君 .

中国专利 :CN110047788B ,2019-07-23

[6]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

陈海龙 .

中国专利 :CN111009484B ,2020-04-14

[7]

一种晶圆载具清洗设备 [P].

刘为银 ;

韩笑 ;

胡文超 ;

张戈权 .

中国专利 :CN223505832U ,2025-11-04

[8]

一种晶圆清洗方法以及晶圆清洗系统 [P].

陈新来 .

中国专利 :CN114068304A ,2022-02-18

[9]

一种晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

张迪 ;

刘欢 ;

周志曼 ;

朱梦磊 .

中国专利 :CN120767225A ,2025-10-10

[10]

一种晶圆载具 [P].

张正杰 .

中国专利 :CN112331599A ,2021-02-05

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