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一种晶圆清洗装置及晶圆清洗方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511061716.7
申请日：
2025-07-30
公开(公告)号：
CN120767225A
公开(公告)日：
2025-10-10
发明(设计)人：
张迪
刘欢
周志曼
朱梦磊
申请人：
北京晶亦精微科技股份有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科谷四街1号院13号楼
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/02
B08B1/14
B08B1/20
B08B1/32
B08B3/02
B08B3/08
F26B21/00
代理机构：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250
代理人：
郑骁益
法律状态：
公开
国省代码：
安徽省
宣城市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-10-10 | 公开 | 公开 |
| 2025-10-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20250730 |