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一种晶圆清洗方法以及晶圆清洗系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111301063.7
申请日：
2021-11-04
公开(公告)号：
CN114068304A
公开(公告)日：
2022-02-18
发明(设计)人：
陈新来
申请人：
申请人地址：
200120 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼
IPC主分类号：
H01L2102
IPC分类号：
H01L2167
H01L21687
代理机构：
上海申新律师事务所 31272
代理人：
林志豪
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-18 | 公开 | 公开 |
| 2022-03-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20211104 |