晶圆清洗系统

被引：0

申请号：

CN202111515809.4

申请日：

2021-12-13

公开(公告)号：

CN114260217A

公开(公告)日：

2022-04-01

发明(设计)人：

张子阳李杰丁高生葛林新李守印

申请人：

申请人地址：

201405 上海市奉贤区堂富路88号

IPC主分类号：

B08B100

IPC分类号：

B08B102 B08B302 B08B308 B08B502 B08B1100 B08B1102 B08B1300 H01L2167 H01L21687

代理机构：

上海十蕙一兰知识产权代理有限公司 31331

代理人：

刘秋兰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 1/00 申请日:20211213
2022-04-01	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆清洗装置及晶圆清洗系统 [P].

赵宝君 ;

祝福生 ;

张伟锋 ;

袁恋 ;

王文丽 ;

夏楠君 .

中国专利 :CN110047788B ,2019-07-23

[2]

晶圆清洗系统 [P].

吕佳韦 .

中国专利 :CN221573870U ,2024-08-20

[3]

晶圆清洗花篮及晶圆清洗系统 [P].

程谦 ;

王虎 ;

陈贤辉 .

中国专利 :CN208781813U ,2019-04-23

[4]

晶圆清洗系统及晶圆清洗方法 [P].

史蒂文·贺·汪 .

中国专利 :CN112053972A ,2020-12-08

[5]

晶圆清洗系统及其清洗方法 [P].

申文勋 ;

王刚 ;

陈波 ;

肖毅立 ;

刘超武 .

中国专利 :CN114203590A ,2022-03-18

[6]

晶圆清洗设备和晶圆清洗系统 [P].

张锋 .

中国专利 :CN114203572A ,2022-03-18

[7]

晶圆清洗装置和晶圆清洗方法 [P].

陶泽魏 ;

胡海波 ;

刘阳 ;

张晓燕 .

中国专利 :CN118116825A ,2024-05-31

[8]

晶圆清洗系统 [P].

吴宗恩 ;

罗翔隆 .

中国专利 :CN221149948U ,2024-06-14

[9]

晶圆清洗系统 [P].

钱子隆 ;

许定 ;

张再辉 ;

王刚 .

中国专利 :CN216528758U ,2022-05-13

[10]

晶圆清洗系统 [P].

吴宗恩 ;

罗翔隆 .

中国专利 :CN119725139A ,2025-03-28

← 1 2 3 4 5 →