刻蚀液补给方法及补给装置、刻蚀设备

被引：0

申请号：

CN202211437911.1

申请日：

2022-11-16

公开(公告)号：

CN115494887A

公开(公告)日：

2022-12-20

发明(设计)人：

涂程林郝利兰张永仓

申请人：

申请人地址：

230012 安徽省合肥市新站区综合保税区内西淝河路88号

IPC主分类号：

G05D912

IPC分类号：

代理机构：

华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

陈金普

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G05D 9/12 申请日:20221116
2022-12-20	公开	公开
2023-02-17	授权	授权

共 50 条

[1]

刻蚀液补给装置、补给方法和具该装置的湿法刻蚀设备 [P].

马晓光 ;

何悦 ;

叶俊 ;

黄治国 .

中国专利 :CN102569015A ,2012-07-11

[2]

刻蚀设备及刻蚀方法 [P].

关超阳 ;

罗东 ;

刘健 ;

金娇 .

中国专利 :CN117457525A ,2024-01-26

[3]

组合型刻蚀液、刻蚀系统及刻蚀方法 [P].

吴祥 ;

李卫民 .

中国专利 :CN113943579A ,2022-01-18

[4]

刻蚀液及刻蚀装置 [P].

赵芬利 ;

秦文 ;

张月红 .

中国专利 :CN109930153B ,2019-06-25

[5]

刻蚀液及刻蚀方法 [P].

赵芬利 ;

秦文 ;

张月红 .

中国专利 :CN110144588A ,2019-08-20

[6]

刻蚀液、刻蚀组合液以及刻蚀方法 [P].

赵芬利 ;

秦文 ;

张月红 .

中国专利 :CN110079803A ,2019-08-02

[7]

刻蚀方法及刻蚀设备 [P].

胡家艳 ;

孔祥健 ;

吴凡 .

中国专利 :CN113113302A ,2021-07-13

[8]

刻蚀罐及刻蚀设备 [P].

孙文昌 ;

靖瑞宽 ;

张家欢 .

中国专利 :CN201927585U ,2011-08-10

[9]

刻蚀设备及刻蚀方法 [P].

张军 ;

徐惠芬 .

中国专利 :CN113889395A ,2022-01-04

[10]

刻蚀方法及刻蚀设备 [P].

胡家艳 ;

孔祥健 ;

吴凡 .

中国专利 :CN113113302B ,2024-05-03

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