布线结构的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03138207.X

申请日：

2003-05-23

公开(公告)号：

CN1462069A

公开(公告)日：

2003-12-17

发明(设计)人：

原田刚史

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L213205

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

汪惠民

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-03-03	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-01-27	专利权的视为放弃	专利权的视为放弃
2003-12-17	公开	公开

共 50 条

[1]

布线结构的形成方法 [P].

原田刚史 .

中国专利 :CN1248304C ,2004-01-14

[2]

布线结构的形成方法 [P].

杨彦涛 ;

李小锋 ;

冯荣杰 ;

罗宁 .

中国专利 :CN102354684B ,2012-02-15

[3]

布线结构的形成方法 [P].

吉田英朗 ;

上田哲也 ;

滨中雅司 ;

原田刚史 .

中国专利 :CN1220258C ,2003-07-09

[4]

布线结构的形成方法 [P].

滨中雅司 ;

原田刚史 ;

吉田英朗 ;

上田哲也 .

中国专利 :CN1220259C ,2003-07-09

[5]

布线结构的形成方法 [P].

原田刚史 ;

吉田英朗 ;

上田哲也 ;

滨中雅司 .

中国专利 :CN1198331C ,2003-07-09

[6]

布线结构的形成方法 [P].

上田哲也 ;

滨中雅司 ;

原田刚史 ;

吉田英朗 .

中国专利 :CN1430262A ,2003-07-16

[7]

多层金属布线的形成方法 [P].

矢野航作 ;

杉山龙男 ;

上田聪 ;

野村登 .

中国专利 :CN1118520A ,1996-03-13

[8]

印刷布线板的布线构造及其形成方法 [P].

长瀬健司 ;

川畑贤一 .

中国专利 :CN101207109A ,2008-06-25

[9]

半导体装置的布线的形成方法 [P].

田岛尚之 ;

东条启 .

中国专利 :CN102683269A ,2012-09-19

[10]

布线形成方法 [P].

平井利充 .

中国专利 :CN1722934A ,2006-01-18

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