布线结构的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02156991.6

申请日：

2002-12-24

公开(公告)号：

CN1220259C

公开(公告)日：

2003-07-09

发明(设计)人：

滨中雅司原田刚史吉田英朗上田哲也

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L213205

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

汪惠民

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2003-07-09	公开	公开
2014-02-19	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101572122120 IPC(主分类):H01L 21/768 专利号:ZL021569916 申请日:20021224 授权公告日:20050921 终止日期:20121224
2005-09-21	授权	授权
2003-09-24	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

布线结构的形成方法 [P].

吉田英朗 ;

上田哲也 ;

滨中雅司 ;

原田刚史 .

中国专利 :CN1220258C ,2003-07-09

[2]

布线结构的形成方法 [P].

原田刚史 ;

吉田英朗 ;

上田哲也 ;

滨中雅司 .

中国专利 :CN1198331C ,2003-07-09

[3]

布线结构的形成方法 [P].

上田哲也 ;

滨中雅司 ;

原田刚史 ;

吉田英朗 .

中国专利 :CN1430262A ,2003-07-16

[4]

布线结构的形成方法 [P].

原田刚史 .

中国专利 :CN1248304C ,2004-01-14

[5]

布线结构的形成方法 [P].

原田刚史 .

中国专利 :CN1462069A ,2003-12-17

[6]

布线形成方法 [P].

平井利充 .

中国专利 :CN1722934A ,2006-01-18

[7]

多层金属布线的形成方法 [P].

矢野航作 ;

杉山龙男 ;

上田聪 ;

野村登 .

中国专利 :CN1118520A ,1996-03-13

[8]

用于布线的铝膜形成方法 [P].

菅井和己 .

中国专利 :CN1113400C ,1999-05-26

[9]

掩埋布线的形成方法及半导体器件 [P].

佐竹光成 ;

松本宗之 .

中国专利 :CN1574283A ,2005-02-02

[10]

多层配线结构的形成方法 [P].

山本保 ;

绵谷宏文 ;

北田秀树 ;

堀内博志 ;

宫岛基守 .

中国专利 :CN101271861B ,2008-09-24

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