曝光用光源模块单元以及设置有所述光源模块单元的曝光装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780067960.1

申请日：

2017-09-27

公开(公告)号：

CN109923477B

公开(公告)日：

2019-06-21

发明(设计)人：

赵南稙印致亿朴钟沅宋友莉丁海一

申请人：

申请人地址：

韩国忠清南道天安市

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京冠和权律师事务所 11399

代理人：

朱健;张国香

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-21	公开	公开
2021-07-13	授权	授权
2019-07-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20170927

共 50 条

[1]

曝光用光源模块单元以及设置有所述光源模块单元的曝光装置 [P].

赵南稙 ;

印致亿 ;

朴钟沅 ;

宋友莉 ;

丁海一 .

中国专利 :CN108780281B ,2018-11-09

[2]

曝光用光源模块单元以及设置有所述光源模块单元的曝光装置 [P].

赵南稙 ;

印致亿 ;

朴钟沅 ;

宋友莉 ;

丁海一 .

中国专利 :CN107924134B ,2018-04-17

[3]

用于曝光的光源模块单元及包括该光源模块单元的曝光装置 [P].

赵南稙 ;

印致億 ;

朴钟沅 ;

宋友莉 ;

丁海一 .

中国专利 :CN205103540U ,2016-03-23

[4]

用于曝光的光源模块单元及包括该光源模块单元的曝光装置 [P].

赵南稙 ;

印致億 ;

朴钟沅 ;

宋友莉 ;

丁海一 .

中国专利 :CN106406033A ,2017-02-15

[5]

曝光用光源以及使用该曝光用光源的曝光装置 [P].

白井哲也 ;

清木芳彦 ;

中川敦二 .

中国专利 :CN101236358A ,2008-08-06

[6]

扫描型曝光用光源单元 [P].

三宅荣一 .

中国专利 :CN1782885A ,2006-06-07

[7]

曝光用光源 [P].

三宅健 .

中国专利 :CN1743960A ,2006-03-08

[8]

曝光用光源装置 [P].

三浦雄一 ;

林贤志 .

中国专利 :CN112969969B ,2021-06-15

[9]

曝光用ＬＥＤ光源模块、曝光用ＬＥＤ光源装置及曝光用ＬＥＤ光源装置管理系统 [P].

李在庆 ;

吴玿永 ;

沈铉昌 ;

尹东吉 ;

金东映 ;

任祥均 ;

郑成容 ;

徐在寅 ;

朴锺植 ;

崔桓溶 ;

申美善 ;

金韩龙 .

中国专利 :CN103502723B ,2014-01-08

[10]

光源单元、照明单元、曝光装置、以及曝光方法 [P].

吉田亮平 ;

铃木智也 ;

樱井友纪也 ;

犬童真成 .

日本专利 :CN119790351A ,2025-04-08

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