扫描型曝光用光源单元

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510128663.2

申请日：

2005-11-23

公开(公告)号：

CN1782885A

公开(公告)日：

2006-06-07

发明(设计)人：

三宅荣一

申请人：

申请人地址：

日本国兵库县

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

李香兰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-11-21	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-06-07	公开	公开
2010-02-10	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回

共 50 条

[1]

曝光用光源 [P].

三宅健 .

中国专利 :CN1743960A ,2006-03-08

[2]

曝光用光源装置 [P].

三浦雄一 ;

林贤志 .

中国专利 :CN112969969B ,2021-06-15

[3]

曝光用光源模块单元以及设置有所述光源模块单元的曝光装置 [P].

赵南稙 ;

印致亿 ;

朴钟沅 ;

宋友莉 ;

丁海一 .

中国专利 :CN107924134B ,2018-04-17

[4]

曝光用光源模块单元以及设置有所述光源模块单元的曝光装置 [P].

赵南稙 ;

印致亿 ;

朴钟沅 ;

宋友莉 ;

丁海一 .

中国专利 :CN109923477B ,2019-06-21

[5]

曝光用光源模块单元以及设置有所述光源模块单元的曝光装置 [P].

赵南稙 ;

印致亿 ;

朴钟沅 ;

宋友莉 ;

丁海一 .

中国专利 :CN108780281B ,2018-11-09

[6]

曝光用光源、光照射装置、曝光装置及曝光方法 [P].

井上智彦 ;

山下健一 ;

渡边加名 ;

池田富彦 .

中国专利 :CN113917788A ,2022-01-11

[7]

曝光用ＬＥＤ光源模块、曝光用ＬＥＤ光源装置及曝光用ＬＥＤ光源装置管理系统 [P].

李在庆 ;

吴玿永 ;

沈铉昌 ;

尹东吉 ;

金东映 ;

任祥均 ;

郑成容 ;

徐在寅 ;

朴锺植 ;

崔桓溶 ;

申美善 ;

金韩龙 .

中国专利 :CN103502723B ,2014-01-08

[8]

曝光用光掩模及其制造方法 [P].

松浦诚司 .

中国专利 :CN1192543A ,1998-09-09

[9]

车辆用光源单元 [P].

田中义治 ;

三沢明弘 ;

柘植浩树 .

中国专利 :CN102121652A ,2011-07-13

[10]

农业用光源单元、农业用光源灯及农业用光源灯配置方法 [P].

山崎正弘 ;

河野贤二 ;

矢岛政利 ;

柴田泰匡 .

中国专利 :CN107404849B ,2017-11-28

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