曝光用光源以及使用该曝光用光源的曝光装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710138265.8

申请日：

2007-07-31

公开(公告)号：

CN101236358A

公开(公告)日：

2008-08-06

发明(设计)人：

白井哲也清木芳彦中川敦二

申请人：

申请人地址：

日本兵库县

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H05K306

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

何腾云

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101425529863 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2007101382658 公开日:20080806
2010-02-03	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-08-06	公开	公开

共 50 条

[1]

曝光用光源、光照射装置、曝光装置及曝光方法 [P].

井上智彦 ;

山下健一 ;

渡边加名 ;

池田富彦 .

中国专利 :CN113917788A ,2022-01-11

[2]

曝光用光源、曝光装置、曝光方法、以及面板基板的制造方法 [P].

森顺一 .

中国专利 :CN101154052B ,2008-04-02

[3]

曝光用ＬＥＤ光源模块、曝光用ＬＥＤ光源装置及曝光用ＬＥＤ光源装置管理系统 [P].

李在庆 ;

吴玿永 ;

沈铉昌 ;

尹东吉 ;

金东映 ;

任祥均 ;

郑成容 ;

徐在寅 ;

朴锺植 ;

崔桓溶 ;

申美善 ;

金韩龙 .

中国专利 :CN103502723B ,2014-01-08

[4]

曝光用光源模块单元以及设置有所述光源模块单元的曝光装置 [P].

赵南稙 ;

印致亿 ;

朴钟沅 ;

宋友莉 ;

丁海一 .

中国专利 :CN107924134B ,2018-04-17

[5]

曝光用光源模块单元以及设置有所述光源模块单元的曝光装置 [P].

赵南稙 ;

印致亿 ;

朴钟沅 ;

宋友莉 ;

丁海一 .

中国专利 :CN109923477B ,2019-06-21

[6]

曝光用光源模块单元以及设置有所述光源模块单元的曝光装置 [P].

赵南稙 ;

印致亿 ;

朴钟沅 ;

宋友莉 ;

丁海一 .

中国专利 :CN108780281B ,2018-11-09

[7]

曝光用的光源装置、曝光装置及曝光方法 [P].

松坂昌明 ;

榎本芳幸 ;

高濑和博 ;

矢部俊一 ;

松下智恒 .

中国专利 :CN113544589A ,2021-10-22

[8]

曝光用镜、曝光用镜的制造方法以及具备该曝光用镜的曝光装置 [P].

麻籍文 ;

吉本芳幸 .

中国专利 :CN113711127A ,2021-11-26

[9]

曝光装置用光源及其控制方法、曝光装置 [P].

池田富彦 ;

井上智彦 ;

乡田哲也 ;

山下健一 ;

渡边加名 .

中国专利 :CN111308862A ,2020-06-19

[10]

曝光用照明装置、曝光装置以及曝光方法 [P].

榎本芳幸 ;

川岛洋德 .

中国专利 :CN111133386A ,2020-05-08

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