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一种电子束蒸发台
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202023292578.9
申请日：
2020-12-30
公开(公告)号：
CN214088644U
公开(公告)日：
2021-08-31
发明(设计)人：
张军区
杜国强
董金良
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市锡山经济技术开发区云林蓉通路17
IPC主分类号：
C23C1430
IPC分类号：
代理机构：
南京北辰联和知识产权代理有限公司 32350
代理人：
王俊
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-08-31 | 授权 | 授权 |