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一种电子束蒸发台
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021013114.7
申请日：
2020-06-04
公开(公告)号：
CN212223086U
公开(公告)日：
2020-12-25
发明(设计)人：
马溢华
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市会西路30-34(无锡光电新材料科技园内)
IPC主分类号：
C23C1430
IPC分类号：
C23C1450
代理机构：
北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489
代理人：
韩璐
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-12-25 | 授权 | 授权 |