一种电子束蒸发台源挡圈装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121896054.2

申请日：

2021-08-13

公开(公告)号：

CN215560623U

公开(公告)日：

2022-01-18

发明(设计)人：

马溢华赵志强

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市会西路30-34(无锡光电新材料科技园内)

IPC主分类号：

C23C1430

IPC分类号：

C23C1456

代理机构：

北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489

代理人：

何磊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种电子束蒸发台 [P].

张军区 ;

杜国强 ;

董金良 .

中国专利 :CN214088644U ,2021-08-31

[2]

一种电子束蒸发台 [P].

马溢华 .

中国专利 :CN212223086U ,2020-12-25

[3]

一种电子束蒸发台源梭子挡板装置 [P].

马溢华 ;

赵志强 .

中国专利 :CN216514091U ,2022-05-13

[4]

一种电子束蒸发台蒸发工艺腔体 [P].

马溢华 .

中国专利 :CN212247192U ,2020-12-29

[5]

一种电子束蒸发台加热器装置 [P].

马溢华 .

中国专利 :CN212388103U ,2021-01-22

[6]

电子束蒸发台专用行星架 [P].

马溢华 ;

赵志强 .

中国专利 :CN114941125A ,2022-08-26

[7]

电子束蒸发台专用行星架 [P].

马溢华 ;

赵志强 .

中国专利 :CN114941125B ,2024-04-02

[8]

电子束蒸发镀膜装置及电子束蒸发镀膜系统 [P].

杨建 ;

王雪戈 ;

冯治华 .

中国专利 :CN223373199U ,2025-09-23

[9]

一种电子束蒸发台气缸密封法兰装置 [P].

马溢华 ;

赵志强 .

中国专利 :CN215560622U ,2022-01-18

[10]

一种电子束蒸发装置 [P].

魏国军 ;

安永 ;

王培元 .

中国专利 :CN222389904U ,2025-01-24

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