一种三氯氢硅合成炉冷却系统及三氯氢硅合成炉

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201120169364.4
申请日
2011-05-25
公开(公告)号
CN202054615U
公开(公告)日
2011-11-30
发明(设计)人
王小伟 张滨泉 李峰 杨光军 胡永 侯俊峰
申请人
申请人地址
753202 宁夏回族自治区石嘴山市惠农区河滨路
IPC主分类号
C01B33107
IPC分类号
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
逯长明
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
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三氯氢硅合成炉 [P]. 
梁进 .
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新型三氯氢硅合成炉 [P]. 
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三氯氢硅合成炉 [P]. 
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蔡俊雄 ;
郭庆元 ;
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三氯氢硅合成炉 [P]. 
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三氯氢硅合成炉 [P]. 
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合成炉喷嘴和三氯氢硅合成炉 [P]. 
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三氯氢硅合成炉的冷却装置 [P]. 
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三氯氢硅合成炉换热装置 [P]. 
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一种三氯氢硅合成炉 [P]. 
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杨秀玲 ;
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一种三氯氢硅合成炉 [P]. 
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