半导体清洗设备及其承载装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011267613.3

申请日：

2020-11-13

公开(公告)号：

CN112466805A

公开(公告)日：

2021-03-09

发明(设计)人：

宋爱军赵宏宇许璐徐剑楠

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L21687 H01L2167

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;王婷

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-09	公开	公开
2021-03-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20201113

共 50 条

[1]

半导体清洗设备及其承载装置 [P].

宋爱军 ;

赵宏宇 ;

许璐 ;

徐剑楠 .

中国专利 :CN112466805B ,2024-05-17

[2]

半导体清洗设备及其承载装置 [P].

陈忠明 ;

宋爱军 ;

赵宏宇 ;

张敬博 .

中国专利 :CN114639632B ,2025-08-26

[3]

半导体清洗设备及其承载装置 [P].

陈忠明 ;

宋爱军 ;

赵宏宇 ;

张敬博 .

中国专利 :CN114639632A ,2022-06-17

[4]

承载装置及半导体清洗设备 [P].

李婧霞 ;

吴仪 ;

初国超 .

中国专利 :CN113113346B ,2024-06-21

[5]

承载装置及半导体清洗设备 [P].

李婧霞 ;

吴仪 ;

初国超 .

中国专利 :CN113113346A ,2021-07-13

[6]

承载机构以及半导体清洗设备 [P].

董丽荣 ;

王宽冒 ;

韩晓麟 ;

刘晓环 .

中国专利 :CN222530408U ,2025-02-25

[7]

半导体清洗设备及其清洗方法 [P].

马宏帅 ;

赵宏宇 ;

王锐廷 .

中国专利 :CN115090602A ,2022-09-23

[8]

半导体清洗护罩装置及半导体清洗设备 [P].

郭加龙 ;

宁卫龙 .

中国专利 :CN121103748A ,2025-12-12

[9]

半导体清洗设备的隔离装置和半导体清洗设备 [P].

左国军 ;

邱瑞 ;

成旭 ;

李雄朋 ;

陈雷 ;

谈丽文 ;

申斌 .

中国专利 :CN215988678U ,2022-03-08

[10]

半导体清洗设备的检测装置以及半导体清洗设备 [P].

崔凯 ;

乔夫龙 ;

赵刘明 ;

张适杰 .

中国专利 :CN223390499U ,2025-09-26

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