承载机构以及半导体清洗设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420137621.3

申请日：

2024-01-19

公开(公告)号：

CN222530408U

公开(公告)日：

2025-02-25

发明(设计)人：

董丽荣王宽冒韩晓麟刘晓环

申请人：

北京北方华创微电子装备有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/67 B08B13/00 B08B3/08

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;王婷

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-25	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体清洗设备及其承载装置 [P].

宋爱军 ;

赵宏宇 ;

许璐 ;

徐剑楠 .

中国专利 :CN112466805B ,2024-05-17

[2]

半导体清洗设备及其承载装置 [P].

陈忠明 ;

宋爱军 ;

赵宏宇 ;

张敬博 .

中国专利 :CN114639632B ,2025-08-26

[3]

承载装置及半导体清洗设备 [P].

李婧霞 ;

吴仪 ;

初国超 .

中国专利 :CN113113346B ,2024-06-21

[4]

承载装置及半导体清洗设备 [P].

李婧霞 ;

吴仪 ;

初国超 .

中国专利 :CN113113346A ,2021-07-13

[5]

半导体清洗设备及其承载装置 [P].

宋爱军 ;

赵宏宇 ;

许璐 ;

徐剑楠 .

中国专利 :CN112466805A ,2021-03-09

[6]

半导体清洗设备及其承载装置 [P].

陈忠明 ;

宋爱军 ;

赵宏宇 ;

张敬博 .

中国专利 :CN114639632A ,2022-06-17

[7]

半导体清洗设备的检测装置以及半导体清洗设备 [P].

崔凯 ;

乔夫龙 ;

赵刘明 ;

张适杰 .

中国专利 :CN223390499U ,2025-09-26

[8]

半导体清洗设备及半导体清洗方法 [P].

左国军 ;

范生刚 ;

马文毕 ;

王祥祥 .

中国专利 :CN118431113A ,2024-08-02

[9]

半导体清洗单元和半导体清洗设备 [P].

左国军 ;

邱瑞 ;

成旭 ;

李雄朋 ;

陈雷 ;

谈丽文 ;

申斌 .

中国专利 :CN215988677U ,2022-03-08

[10]

半导体清洗槽及半导体清洗设备 [P].

梁家齐 ;

赵宏宇 .

中国专利 :CN220970269U ,2024-05-17

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